Inline Magnetron Sputtering sistèm
Inline magnetron sputtering kouch machin se sitou DC (oswa MF) magnetron sputtering kouch ka adapte nan yon pakèt objektif, tankou: kòb kwiv mete, Titàn, chromium, Nerjaveèi asye, nikèl ak lòt materyèl metal ki ka kouvwi lè l sèvi avèk yon pwosesis sputtering. ka amelyore adezyon fim, repwodibilite, dansite, inifòmite ak lòt karakteristik.
- a.Karakteristik debaz yo ak paramèt
- b.ka estrikti liy orizontal dwe reyalize ansanm kouvwi sou yon bò
- c.efikasite pwodiksyon, vitès ki pi rapid ki rive jiska 1 min / bat
- d.konsepsyon modilè, antretyen fasil
- e.plating pwosesis matirite, segondè sede
- f.DC magnetron sputtering katod ka varye selon kondisyon kliyan yo
- g.sistèm vakyòm konsiste de yon ponp mekanik, ponp Rasin, ponp difizyon (ponp molekilè) Konpozisyon
- h.Gwosè kò liy lan ka varye selon kondisyon kliyan yo
- 1) materyèl la chanm vakyòm kò itilize SUS304, polisaj yon tretman vakyòm chanm miray, ekstèn miray la espre polisaj pèl pwosesis.
- 2) Sèvi ak yon valv pòtay endepandan ant chanm lan vakyòm - valv flapper apa, ka efektivman koupe, estabilize gaz la pwosesis.Koulye a, konpayi nou an adopte konsepsyon valv la flapper, li sele pi bon, pi dirab pase aktyèl domestik valv la Sabatani komen.
- 3) Transmisyon itilize gid mayetik, pwoteje estabilite kondwi a.Pou chak vitès nan liy pwodiksyon an antye lè l sèvi avèk kondwi motè VVVF, vitès kouri ka ajiste.
- 4) Sistèm kontwòl elektrik: manyen ekran ak PLC kontwòl otomatik, dyalòg moun-machin pou reyalize sistèm ekspozisyon done, paramèt opere ak teknoloji kontwòl.
- 1) Presyon vakyòm ultim: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) sik pwodiksyon mwayèn: dapre pwodwi a detèmine
- 3) detantè a substrate Size: yo ka Customized selon kondisyon ki nan
- 4) inifòmite fim: ± 3% teknoloji avanse mobil jaden gen anpil amelyore itilizasyon sib
- Segman konsepsyon aparèy chofaj se fezab nan optimize pwosesis.
Ekri mesaj ou la a epi voye l ba nou
