Vacuum magnetron sputtering teknik se itilize nan fi a, sifas elektwòd bipolè ak jaden an mayetik nan elèktron nan drift sifas katod la, pa mete sifas la sib jaden elektrik pèpandikilè nan jaden an mayetik, elektwon an ogmante konjesyon serebral, ogmante pousantaj la nan ionizasyon. nan gaz la, pandan y ap patikil yo wo-enèji gaz ak pèdi enèji apre kolizyon an ak konsa pi ba tanperati substra, ranpli kouch sou yon materyèl ki pa reziste tanperati.